发明名称 SCANNTYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS5231651(A) 申请公布日期 1977.03.10
申请号 JP19750107741 申请日期 1975.09.04
申请人 KAGAKU GIJIYUTSUCHIYOU MUKIZAISHITSU KENKIYUUSHIYOCHIYOU 发明人 KAWAI NANAO;TANAKA TAKAO;SAKAUCHI HIDENORI;SHIMIZU RIYUUICHI
分类号 H01J37/06;H01J1/15 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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