| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR FOKUSSIERUNG DER OBJEKTIVLINSE EINES KORPUSKULAR-DURCHSTRAHLUNGS-RASTERMIKROSKOPS UND EINRICHTUNG ZUR SELBSTTAETIGEN DURCHFUEHRUNG DES VERFAHRENS SOWIE ANWENDUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2542356(B1) |
申请公布日期 |
1977.03.10 |
| 申请号 |
DE19752542356 |
申请日期 |
1975.09.19 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
MUELLER KARL-HEINZ DR RER NAT;SCHLIEPE REINHARD DR-ING;RINDFLEISCH VOLKER ING |
| 分类号 |
H01J37/153;H01J37/21;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/21 |
主分类号 |
H01J37/153 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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