发明名称 |
CLEAVAGE METHOD OF CRYSTAL THIN PLATE |
摘要 |
<p>PURPOSE:To make the finding of cleavage opening simply, by means of forming a ditch on the crystal thin plate.</p> |
申请公布号 |
JPS5231662(A) |
申请公布日期 |
1977.03.10 |
申请号 |
JP19760073614 |
申请日期 |
1976.06.21 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRONICS CORP |
发明人 |
INOUE MORIO;WATANABE SHIYOUICHI |
分类号 |
B28D5/00;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/66;H01L21/78 |
主分类号 |
B28D5/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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