发明名称 CLEAVAGE METHOD OF CRYSTAL THIN PLATE
摘要 <p>PURPOSE:To make the finding of cleavage opening simply, by means of forming a ditch on the crystal thin plate.</p>
申请公布号 JPS5231662(A) 申请公布日期 1977.03.10
申请号 JP19760073614 申请日期 1976.06.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 INOUE MORIO;WATANABE SHIYOUICHI
分类号 B28D5/00;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/66;H01L21/78 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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