| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING SMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5230188(A) |
申请公布日期 |
1977.03.07 |
| 申请号 |
JP19750105923 |
申请日期 |
1975.09.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAMADA KOUHEI;YAMADA KOUICHIROU;NISHIDA KIYOO |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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