发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS5230173(A) 申请公布日期 1977.03.07
申请号 JP19750106162 申请日期 1975.09.02
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 IGARASHI YUKIO
分类号 H01L21/306;H01L21/302;H01L21/308 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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