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发明名称 METHOD FOR FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5230171(A) 申请公布日期 1977.03.07
申请号 JP19750105914 申请日期 1975.09.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 INABA TOORU
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/306;H01L27/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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