发明名称 MULTIILAYER EPITAXIAL GROWTH METHOD AT LIQUID PHASE
摘要
申请公布号 JPS5229477(A) 申请公布日期 1977.03.05
申请号 JP19750104927 申请日期 1975.09.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ISOZUMA SHIYOUJI;MITANI YASUO;NISHITANI YOSHIMITSU;KOMATSU YASUAKI;KOTANI TAKESHI
分类号 C30B19/00;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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