发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5228868(A) 申请公布日期 1977.03.04
申请号 JP19750104009 申请日期 1975.08.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUNAMI HIDEO;YAMAMOTO NAOKI
分类号 H01L21/306;H01L21/28;H01L21/312 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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