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发明名称 PROCESS FOR LIQUID EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS5228866(A) 申请公布日期 1977.03.04
申请号 JP19750104506 申请日期 1975.08.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAJIMA KAZUO;NISHITANI YOSHIMITSU;AKITA KENZOU;KOTANI TAKESHI
分类号 C30B19/00;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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