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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5228280(A) 申请公布日期 1977.03.03
申请号 JP19750103446 申请日期 1975.08.28
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HATANO YUTAKA;KAYAMA SUSUMU
分类号 H01L27/04;H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/50;H01L23/52 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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