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发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE2637382(A1) 申请公布日期 1977.03.03
申请号 DE19762637382 申请日期 1976.08.19
申请人 K.K. SUWA SEIKOSHA 发明人 TSUDA,AKIHITO
分类号 H01L21/8247;H01L21/28;H01L29/49;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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