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发明名称 PROCESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5228278(A) 申请公布日期 1977.03.03
申请号 JP19750103447 申请日期 1975.08.28
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HORIUCHI SHIGEHARU
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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