发明名称 COLLET FOR PELLET BONDING
摘要
申请公布号 JPS5228271(A) 申请公布日期 1977.03.03
申请号 JP19750103986 申请日期 1975.08.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUGAWA TAKU;OOKUBO TADASHI
分类号 H01L21/677;H01L21/58;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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