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发明名称 VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN EINER GLATTEN, ELEKTRISCH ISOLIERENDEN SCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE2635667(A1) 申请公布日期 1977.03.03
申请号 DE19762635667 申请日期 1976.08.07
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 CLYDE SCHWARTZ,BRADFORD;DONALD SILKENSEN,RALPH;STEVING,GERALD
分类号 C04B41/87;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/40;G11B5/31;H01L21/31;H01L43/02;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
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