发明名称 GLASS MASK HOLDER
摘要 PURPOSE:To bend a glass mask toward a wafer surface for semiconductor formation, press the mask against the wafer and fix them tightly, thus enabling fine patterning.
申请公布号 JPS5227276(A) 申请公布日期 1977.03.01
申请号 JP19750103271 申请日期 1975.08.26
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 MIYASAKA TSUGUMITSU
分类号 H01L21/027;G03F1/00;G03F1/54;H01L21/46;H01L21/68 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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