| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
PURPOSE:To provide a projection on a wafer to support masks, thereby preventing improper baking or damage to masks due to a bend of the wafer. |
| 申请公布号 |
JPS5227268(A) |
申请公布日期 |
1977.03.01 |
| 申请号 |
JP19750103335 |
申请日期 |
1975.08.25 |
| 申请人 |
TOUKIYOU EREKUTORON KENKIYUUSHIYO KK |
发明人 |
YOSHIDA MINORU |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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