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发明名称 FORMATION METHOD OF PASSIVATION FILM
摘要
申请公布号 JPS5227362(A) 申请公布日期 1977.03.01
申请号 JP19750102975 申请日期 1975.08.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMADA KOUHEI;YAMADA KOUICHIROU;SUGAWARA KATSUO
分类号 H01L21/316;H01L21/31 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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