发明名称 SAMPLE FINE ADJUSTMEN DEVICE IN ELECTRON MICROSCOPES
摘要
申请公布号 JPS5226151(A) 申请公布日期 1977.02.26
申请号 JP19750101270 申请日期 1975.08.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 KASHIWAKURA YUTAKA
分类号 H01J37/20;H01J37/147 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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