发明名称 PRODUCTION METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS5225568(A) 申请公布日期 1977.02.25
申请号 JP19750101230 申请日期 1975.08.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHINTANI AKIRA;MURAMATSU SHINICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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