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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5226880(U) 申请公布日期 1977.02.24
申请号 JP19750112546U 申请日期 1975.08.13
申请人 发明人
分类号 G03F1/00;G03F1/54;G03F1/60;H01L21/027;H01L21/308;H01L21/467 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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