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发明名称 SEMICONDUCTOR ELECTRODE FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPS5224466(A) 申请公布日期 1977.02.23
申请号 JP19750101373 申请日期 1975.08.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HATSUTORI KOUDOU;YUIGAMI NOBORU;TOMIOKA TATSUYUKI
分类号 H01L21/60;H01L21/28 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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