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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10162992(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19970279549 申请日期 1997.09.25
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 HAMA KIICHI
分类号 H05H1/46;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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