发明名称 APPARATUS FOR MEASURING PARTIAL PRESSURE OF ACTIVATED GAS
摘要
申请公布号 JPS5223979(A) 申请公布日期 1977.02.23
申请号 JP19750100782 申请日期 1975.08.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KUSAO KENJI;YOSHIOKA YOSHIAKI;KONISHI BUNYA
分类号 G01N23/223;G01L21/30;G01N27/64 主分类号 G01N23/223
代理机构 代理人
主权项
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