发明名称 PRODUCTION METHOD OF SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5224082(A) 申请公布日期 1977.02.23
申请号 JP19750099831 申请日期 1975.08.19
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 YASUDA YUKIO
分类号 H01L29/78;H01L21/76 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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