| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR DE VERVAARDIGING VAN GEETSTE STRUCTUREN IN OPPERVLAKKEN VAN VASTE LICHAMEN DOOR MIDDEL VAN IONENETSING (SPUTTERETSING). |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL7609175(A) |
申请公布日期 |
1977.02.22 |
| 申请号 |
NL19760009175 |
申请日期 |
1976.08.18 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT TE BERLIJN EN MUENCHEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND. |
发明人 |
|
| 分类号 |
C23F4/00;C23F1/00;H01L21/033;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):C23C15/00;H01L21/30;H05K3/16 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
