发明名称 METHOD OF DETECTING ATTACHING POSITIONS OF SEMICONDUCTOR PELLETS
摘要
申请公布号 JPS5223268(A) 申请公布日期 1977.02.22
申请号 JP19750099292 申请日期 1975.08.15
申请人 SHINKAWA SEISAKUSHIYO KK 发明人 YAMAZAKI NOBUHITO
分类号 H01L21/68;H01L21/60 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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