| 发明名称 |
AIR CLEANER UNIT FOR SEMICONDUCTOR UNIT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5222883(A) |
申请公布日期 |
1977.02.21 |
| 申请号 |
JP19750099149 |
申请日期 |
1975.08.14 |
| 申请人 |
NIPPON DENSHIN DENWA KOSHA;DAN SANGIYOU KK |
发明人 |
ONO INSEI;OONAGA HIDEICHIROU |
| 分类号 |
F24F7/06;F24F7/00;F24F9/00;H01L21/00;H01L21/02 |
主分类号 |
F24F7/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
