| 发明名称 |
PRODUCTION PROCESS OF SEMICONDUCTOR UNIT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5221786(A) |
申请公布日期 |
1977.02.18 |
| 申请号 |
JP19750097491 |
申请日期 |
1975.08.13 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
IIRI MASAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
