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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11103057(A) 申请公布日期 1999.04.13
申请号 JP19980065761 申请日期 1998.03.16
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NAKAGAWA AKIO;KAWAGUCHI YUSUKE
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/08;H01L27/088;H01L29/739;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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