发明名称 BONDING METHOD FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03116741(A) 申请公布日期 1991.05.17
申请号 JP19890253519 申请日期 1989.09.28
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KIDO MOTOI;MINAMIDA KATSUHIRO;NAKAMURA KUNIO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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