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发明名称
ION MICRO ANALYZER
摘要
PURPOSE:To provide deflecting electrodes between the ion gun and electrostatic lens which are so arranged that their axes are deviated from the center of primary ion convergent lens thereby improving analytical accuracy.
申请公布号
JPS5220090(A)
申请公布日期
1977.02.15
申请号
JP19750095832
申请日期
1975.08.08
申请人
HITACHI LTD
发明人
NAKAMURA KAZUMITSU
分类号
G01N23/225;H01J37/02;H01J37/252
主分类号
G01N23/225
代理机构
代理人
主权项
地址
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