发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON HOMOGEN DOTIERTEN SILIZIUMEINKRISTALLEN MIT P-LEITFAHIGKEIT
摘要
申请公布号 ATA667874(A) 申请公布日期 1977.02.15
申请号 AT19740006678 申请日期 1974.08.14
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 G21G1/06;C30B31/20;G21K5/00;H01L21/261;H01L29/04;(IPC1-7):B01J17/40 主分类号 G21G1/06
代理机构 代理人
主权项
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