VORRICHTUNG MIT EINEM SCHALTER MIT EINER CHROMBESCHICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN VON CHROMSCHICHTEN DURCH SPUTTERN,申请号DE19966004987T-传众专利搜索

发明名称	VORRICHTUNG MIT EINEM SCHALTER MIT EINER CHROMBESCHICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN VON CHROMSCHICHTEN DURCH SPUTTERN
摘要
申请公布号	DE69604987(T2)	申请公布日期	2000.05.04
申请号	DE19966004987T	申请日期	1996.01.29
申请人	KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN	发明人	VINK, TEUNIS JOHANNES;WALRAVE, WILLEM
分类号	C23C14/34;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/54;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/45;(IPC1-7):C23C14/54	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
地址