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发明名称
摘要
申请公布号 JPH03502149(A) 申请公布日期 1991.05.16
申请号 JP19880509527 申请日期 1988.10.18
申请人 发明人
分类号 G01N27/04;G01N27/12;G01N27/333;G01N27/413;G01N27/414;G01N27/416;G02F1/153;G11C13/02;H01G7/00;H01L29/66;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40 主分类号 G01N27/04
代理机构 代理人
主权项
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