| 发明名称 |
A NOVEL APPARATUS FOR OXIDATION OF SILICON WAFERS FOR THE FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IN141286(B) |
申请公布日期 |
1977.02.12 |
| 申请号 |
IN2290CA1973 |
申请日期 |
1973.10.16 |
| 申请人 |
COUNCIL OF SCIENTIFIC AND IND RESEARCH |
发明人 |
WADHAWAN O;SETHI G;KANSAL J;MARATHE B |
| 分类号 |
(IPC1-7):B01J1/00;C07B3/00 |
主分类号 |
(IPC1-7):B01J1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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