| 发明名称 |
PROCEDE DE SUPERFINITION DES SURFACES DE SEMI-CONDUCTEURS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2318499(A1) |
申请公布日期 |
1977.02.11 |
| 申请号 |
FR19760021404 |
申请日期 |
1976.07.13 |
| 申请人 |
WACKER CHEMITRONIC ELEKTRONIK |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/30;B24B37/00;B28D5/06 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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