发明名称
摘要
申请公布号 JPS525227(B2) 申请公布日期 1977.02.10
申请号 JP19730137807 申请日期 1973.12.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/761;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/28;H01L21/31 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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