| 发明名称 |
ANORDNUNG ZUR EINSTELLUNG EINER MASKE IN BEZUG AUF EIN HALBLEITERSUBSTRAT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AT334979(B) |
申请公布日期 |
1977.02.10 |
| 申请号 |
AT19720000111 |
申请日期 |
1972.01.07 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
|
| 分类号 |
G03F9/00;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
