| 发明名称 |
PRODUCTION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5218167(A) |
申请公布日期 |
1977.02.10 |
| 申请号 |
JP19750094668 |
申请日期 |
1975.08.01 |
| 申请人 |
SHIN NIPPON DENKI KK |
发明人 |
NISHIKAWA MICHIAKI;KAWABATA SADANORI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/331;H01L29/70 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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