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发明名称 VERFAHREN ZUM BESCHLUSS EINES ELEKTRISCH ISOLIERENDEN MATERIALS MIT IONEN ZUR ZERSTAEUBUNG, DOTIERUNG ODER ANALYSE DES MATERIALS
摘要
申请公布号 DE1920183(B2) 申请公布日期 1977.02.10
申请号 DE19691920183 申请日期 1969.04.21
申请人 发明人
分类号 H01J37/317;G01Q10/04;H01J27/02;H01J37/252;H01J49/14;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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