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发明名称 METHOD FOR ARSENIC DIFFUSION USING POROUS MATERIAL
摘要
申请公布号 JPS5217767(A) 申请公布日期 1977.02.09
申请号 JP19750094075 申请日期 1975.07.31
申请人 FURUKAWA KOUGIYOU KK 发明人 SUDOU ICHIROU;MATSUKUMA TADAYUKI
分类号 C30B31/06;H01L21/223 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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