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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号 JPS5216975(A) 申请公布日期 1977.02.08
申请号 JP19750092874 申请日期 1975.07.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUKUDA TAKESHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/31 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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