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发明名称 Интерферометрическое сканирующее устройство
摘要
申请公布号 SU545876(A1) 申请公布日期 1977.02.05
申请号 SU19752170521 申请日期 1975.08.18
申请人 PREDPRIYATIE P/YA R-6681 发明人 ARKHIPOV VIKTOR VIKTOROVICH;BALATSENKO NIKOLAJ KONSTANTINOVICH
分类号 G01J3/06 主分类号 G01J3/06
代理机构 代理人
主权项
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