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发明名称 Кассета для полупроводниковых кристаллов
摘要
申请公布号 SU546045(A1) 申请公布日期 1977.02.05
申请号 SU19752189628 申请日期 1975.11.17
申请人 PREDPRIYATIE P/YA R-6525 发明人 OGER YURIJ PAVLOVICH;ZENKOVICH VASILIJ ALEKSANDROVICH;IVANUSHKO GENNADIJ MIKHAJLOVICH;ZAJTSEV VALERIJ ALEKSANDROVICH
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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