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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE2631881(A1) 申请公布日期 1977.02.03
申请号 DE19762631881 申请日期 1976.07.15
申请人 FUTABA DENSHI KOGYO K.K. 发明人 MORIMOTO,KIYOSHI;UTAMURA,YUKIHIKO;MOBARA,CHIBA;TAKAGI,TOSHINORI
分类号 H01L21/203;H01L21/285;H01L29/04;H01L31/18;(IPC1-7):H01L21/20;H01L31/06 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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