| 发明名称 |
POSITIV ARBEITENDES, WAERMEBESTAENDIGES FOTORESIST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2631535(A1) |
申请公布日期 |
1977.02.03 |
| 申请号 |
DE19762631535 |
申请日期 |
1976.07.14 |
| 申请人 |
GAF CORP. |
发明人 |
JAMES LOPREST,FRANK;FRANCIS MCLNERNEY,EUGENE |
| 分类号 |
G03C1/72;G03F7/023;G03F7/038;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/02 |
主分类号 |
G03C1/72 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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