| 发明名称 |
EQUIPMENT FOR PRINTING OF PATTERN |
| 摘要 |
PURPOSE:To make a small size and easy operational equipment for printing of pattern by crossing the original mask at right angle from copy plate. |
| 申请公布号 |
JPS5214373(A) |
申请公布日期 |
1977.02.03 |
| 申请号 |
JP19750090274 |
申请日期 |
1975.07.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MICHIZAWA SOUICHI;KAWANABE TAKAO |
| 分类号 |
G03F7/20;G03C5/00;G03F7/26;H01L21/02;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
