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发明名称 SELECTEIVE ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5213779(A) 申请公布日期 1977.02.02
申请号 JP19750089854 申请日期 1975.07.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KIYO HIDEO;SHIBATA SHIYUUSAKU;SAKAI HIROSHI;OOTSUKI OSAMU
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/302 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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