发明名称
摘要
申请公布号 JPS5215169(U) 申请公布日期 1977.02.02
申请号 JP19750101072U 申请日期 1975.07.21
申请人 发明人
分类号 C30B25/02;C23C14/24;C23C16/44;C30B25/00;C30B35/00;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/36;(IPC1-7):H01L21/20;B01J17/28 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
地址