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发明名称
摘要
申请公布号	JPS524196(B1)	申请公布日期	1977.02.02
申请号	JP19700124876	申请日期	1970.12.28
申请人		发明人
分类号	G01D7/00;H01J11/10;H01J11/12;H01J17/14;H03J1/04	主分类号	G01D7/00
代理机构		代理人
主权项
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